Оборудование и плазменные технологии в микроэлектронике: программа бакалавриата МГТУ им. Н.Э. Баумана

Обучение погружает в физико-химические основы создания современных чипов и микросхем. Студентам предстоит освоение принципов работы сложных вакуумных систем, плазмохимических установок и ионно-лучевых модулей, необходимых для нанесения тончайших пленок и травления микроструктур. Особое место занимает обучение управлению параметрами низкотемпературной плазмы для достижения нанометровых допусков, что напрямую определяет выход годных изделий и их функциональные характеристики. Итогом станет способность не только эксплуатировать, но и грамотно проектировать технологические маршруты для выпуска элементной базы современной электроники.

Примерный перечень дисциплин:

• Физические основы микроэлектроники
• Материалы электронной техники
• Начертательная геометрия и инженерная графика
• Метрология, стандартизация и технические измерения в микроэлектронике
• Безопасность работы с плазменным и вакуумным оборудованием
• Электрические измерения параметров структур микроэлектроники
• Схемотехника электронных средств
• Основы конструирования электронных средств
• Моделирование технологических процессов в микроэлектронике
• Вакуумная техника и вакуумные системы
• Низкотемпературная плазма в технологии электронных средств
• Плазменное травление полупроводниковых структур
• Плазмохимическое осаждение тонких пленок
• Ионно-лучевое распыление и ионная имплантация
• Газоразрядные источники плазмы для технологического оборудования
• Оборудование для плазменной обработки подложек
• Высокочастотные и сверхвысокочастотные разряды в технологии
• Контроль и диагностика параметров плазмы в реальном времени
• Технология полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
• Конструктивно-технологическое обеспечение надежности электронных средств
• Методы контроля топологии микроструктур
• Технология тонких пленок и эпитаксиальных слоев
• Диагностика дефектов в микроэлектронных структурах
• Литографические процессы (фотолитография, электронная литография)
• Технологическое оснащение чистых комнат
• Автоматизация технологических установок микроэлектроники
• Программирование промышленных контроллеров для плазменного оборудования
• Управление качеством технологических процессов
• Системы подачи и очистки технологических газов
• Пост-плазменная очистка и обработка поверхности
• Введение в нанотехнологии и нанометровый контроль
• Лабораторный практикум по плазменному оборудованию
• Основы ТРИЗ в конструировании электронных средств
• Технологическая оснастка для микроэлектронного производства
• Математическое моделирование плазменных процессов
• Технология сборки и герметизации электронных средств
• Организация и планирование микроэлектронного производства
• Технико-экономическое обоснование выбора оборудования
• Эксплуатация и ремонт плазменных установок
• Утилизация и экологическая безопасность плазменных технологий.